半導(dǎo)體行業(yè)靜電預(yù)防基礎(chǔ)知識(shí)要點(diǎn)：

靜電產(chǎn)生的方式：接觸-分離；摩擦；剝離；傳導(dǎo)。

安全第一：防靜電措施是否與安全措施相沖突。

防護(hù)手段：接地-等電位連接； 靜電源控制；防靜電包裝。

關(guān)注的要點(diǎn)：產(chǎn)品靜電敏感度要求；防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)匹配度；符合性驗(yàn)證。

什么時(shí)候用金屬材料，什么時(shí)候用靜電耗散材料呢？

金屬材料：

1、產(chǎn)品處于等電位的情況下可直接使用金屬材料。

2、單顆產(chǎn)品不會(huì)與金屬材料直接接觸的情況下可以使用金屬材質(zhì)的材料。

因整條產(chǎn)品加工過(guò)程框架，晶圓使用非防靜電膜，且有些設(shè)備中無(wú)法配置離子風(fēng)機(jī)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生靜電累積，那除了加裝離子風(fēng)機(jī)外我們會(huì)選用一些導(dǎo)電快的材料，讓靜電快速導(dǎo)走。

如果靜電耗散材料可以嗎？

可以，但靜電消散很慢，會(huì)有靜電累積的風(fēng)險(xiǎn)，在切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生放電，對(duì)產(chǎn)品有很大的ESD損傷風(fēng)險(xiǎn)。

靜電材料：切割分離后單顆產(chǎn)品，出貨包裝產(chǎn)品，可以使用靜電材料。 

材料用錯(cuò)會(huì)有什么風(fēng)險(xiǎn)？

因切割分離后的產(chǎn)品比較敏感，抗靜電能力比較弱，如果用金屬材質(zhì)會(huì)因?qū)щ娺^(guò)快造成產(chǎn)品ESD損傷（因與產(chǎn)品直接接觸后會(huì)迅速產(chǎn)生放電現(xiàn)象），使用靜電材料會(huì)有限壓作用，與產(chǎn)品接觸后降低產(chǎn)品ESD損傷風(fēng)險(xiǎn)。

半導(dǎo)體行業(yè)靜電防護(hù)手段

接地—等電位連接：與敏感器件接觸的導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)等電位連接，避免因?qū)w帶靜電發(fā)生放電。

靜電源控制：絕緣材料的靜電通過(guò)接地和等電位連接無(wú)法消除，因此必須對(duì)敏感器件周邊進(jìn)行靜電源控制。

防靜電包裝：運(yùn)出ESD防護(hù)區(qū)的器件必須使用防靜電包裝，以防外界靜電源的影響。

靜電防護(hù)的核心是，靜電消除：對(duì)于可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電積累。我們采取，使靜電邊產(chǎn)生，邊泄放。并將靜電電壓控制在安全范圍。對(duì)已經(jīng)存在的靜電積聚消除掉，及時(shí)釋放。

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