不能將不防塵的產(chǎn)品(例如普通托盤(pán)和容器)帶入無(wú)塵室,因此請(qǐng)務(wù)必使用特殊產(chǎn)品。如果采取防靜電措施,例如導(dǎo)電材料和防靜電工藝,以防止灰塵附著在表面上,則將可能進(jìn)行更高級(jí)的清潔管理。
用于無(wú)塵室的導(dǎo)電塑料托盤(pán)是一種防止靜電產(chǎn)生的對(duì)策產(chǎn)品。
用于存放潔凈室晶圓的導(dǎo)電盒。由于可以密封,因此灰塵和污垢不會(huì)進(jìn)入內(nèi)部,從而防止了靜電和微粒污染。
一種保護(hù)盒,該保護(hù)盒夾在上下兩個(gè)薄膜之間,并固定在一個(gè)空間中。即使容器掉落,它也能吸收沖擊力并且不會(huì)傳遞,因此內(nèi)部的零件也不會(huì)損壞。
潔凈室的紙管是使用潔凈紙的低粉塵產(chǎn)生紙芯。由于它是抗靜電產(chǎn)品,因此也可以用作抗靜電措施。
用于潔凈室的免刀粘塵紙卷在表面上的纏繞痕跡接縫處沒(méi)有臺(tái)階。
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