在潔凈室環(huán)境中，經(jīng)常會忽略靜電，而這種監(jiān)督的結(jié)果可能會導致利潤下降。在一些沒有研究和了解影響的工廠中，通過預算減少不可預見問題的產(chǎn)量來解決這些問題。靜電荷及其影響當然可以理解，可以加以控制。本文的目的是從問題中刪除“黑魔法”，解釋其對生產(chǎn)過程的影響并討論補救措施

潔凈室有什么特別之處？

潔凈室是一個獨特的環(huán)境。對于許多應用，將其調(diào)節(jié)到較低的相對濕度（RH）以優(yōu)化工藝。大量的空氣過濾（包括高效的顆?？諝猓℉EPA）過濾器）排除了許多顆粒污染物。進入潔凈室之前，請先擦凈潔凈室中的物體。事實證明，這些措施對于保持超凈環(huán)境非常有用，但它們也是在潔凈室中實現(xiàn)大量靜電的處方。

眾所周知，在低濕度環(huán)境中可以有效地產(chǎn)生靜電荷。在冬天，人們把手伸到門把手上時，被火花刺傷是很平常的事。建筑物被加熱，溫度升高導致相對濕度降低。這種相同的效果導致在潔凈室中，特別是在低RH潔凈室中，靜電荷產(chǎn)生的速率比常規(guī)房間中更高。

通過與其他材料接觸產(chǎn)生靜電荷后，自然界有幾種方法可以消散電荷。第一種機制是通過對象上的任何表面污染將電荷傳導到地面。通常，此類污染物（例如來自人手的油）在進入潔凈室之前就已從物體上清除，并且物體保持清潔，因為產(chǎn)品只能由戴手套的手操作。

自然消散表面電荷的唯一機制是空氣中存在離子。這些離子是由自然產(chǎn)生的放射性和其他物質(zhì)（例如流水和電動機）產(chǎn)生的。不幸的是，離子無法通過HEPA過濾器-離子被靜電吸附到HEPA過濾器的材料上-因此離子會從進入潔凈室的空氣中去除。

更復雜的是，大多數(shù)無塵室使用許多絕緣體，例如玻璃和塑料。例如，聚四氟乙烯是一種非常有效的絕緣體，可以積極地保持其靜電荷。玻璃和其他塑料也是非常有效的絕緣體。由于上述觀點，無塵室可以非常有效地產(chǎn)生靜電荷，并且消散效果非常差。結(jié)果是靜電荷水平遠遠超過傳統(tǒng)房間。

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